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产品详情
简单介绍:
实现***的后端过程FAD5100系列的进化形。
被自自设定晶片上的设备排列。为程序人工数的大幅度的削减做贡献。
详情介绍:
・ 出自无停止连续动作的高速的涂布:特快点胶机能。
・ 出自无停止连续动作的高速的成直线:特快对齐功能。
・ 使涂布量自动化:DVM机能。
・ 被博伊德回避形成理想的涂布模式"叶线":MCD机能[PAT.P]。
・ 出自无停止连续动作的高速的成直线:特快对齐功能。
・ 使涂布量自动化:DVM机能。
・ 被博伊德回避形成理想的涂布模式"叶线":MCD机能[PAT.P]。
・ 大量事前防止**:AFC机能。
・晶片变换操作搭载。
名称
全自动晶片水准点胶机器FAD5100S-WH
型号
FAD5100S-WH
控制方式
PC/PLC控制(SMEMA根据)
适用工件台
12"晶圆,8"晶圆